Die Produktionsmaschinen von ASML sind fertig installiert. Nun geht es an die Inbetriebnahme und Testproduktion mit 0,55-NA-EUV.

Intel hat heute bekannt gegeben, dass die Einrichtung der 0,55-NA-Belichtungsmaschine (High-NA EUV) von ASML in der Entwicklungsfabrik bei Hillsboro im US-Bundesstaat Oregon abgeschlossen ist. Das System vom Typ ASML Twinscan EXE:5000 wurde in 43 Frachtcontainern angeliefert und befindet sich seit Ende 2023 im Aufbau. Nun beginnt die Kalibrierungsphase, bevor die Entwicklungsarbeit und Testproduktion im Jahr 2025 beginnen soll.